提高检测精度。另外，静电悬浮转子微陀螺有其独有的研究优势，集陀螺、加速度计多功能于一体，易实现高精度和低功耗的载体角速度和线加速度的测量；静电悬浮转子微陀螺由于具有微陀螺/加速度计的五轴惯性测量功能，特别适用于捷联式惯导系统[1-6]。1静电悬浮转子微陀螺的结构设计和悬浮控制系统基于准LIGA技术的静电悬浮电铸Ni转子微陀螺的采用三明治结构如图1所示，其主要包括上、下玻璃衬底电极，中间是电铸Ni转子。在上、下玻璃衬底上设置有轴向悬浮控制电极对、公共电极、驱动电极和径向悬浮电极，外圈为八块(四对)轴向悬浮电极和四块间隔排布的公共电极可靠性分析-数控滚圆机电动滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机。轴向悬浮电极用于对转子三个自由度的检测和控制：沿Z轴的线运动和绕X轴和Y轴的角运动；中间一圈环向均匀排布着12块旋转驱动电极；上/下定子极板的所有驱动电极分为三相，分别与转子中间的驱动齿(轮辐)构成检测/控制电极对，对其中两相电容进行差动检测获取转子的位置和转速，并基于变电容静电马达驱动原理，进行三相顺序供电以实现微陀螺的恒速控制。图1陀螺结构原理图内圈为公共电极。所有公共电极连在一起本文由公司网站张家港大棚滚圆机采集转载中国知网整理!!http://www.dapenggunyuanji.com/  ，用于施加高频载波激励信号，通过调幅(AM)和相敏解调的方式实现转子六自由度位置检测(五自由度悬浮和旋转)。定子极板中心处凸起为轴向止挡台和径向止挡柱，分别用于约束转子轴向和径向的过大位移，以免损伤悬浮电极。所有公共电极是相连的，定子中心处的轴向止挡台和径向止挡柱分别用于约束转子轴向和径向的过大位移，以免转子碰伤定子电极。轴向止挡台还可用于轴向悬浮时减少起支控制电压的作用，还可用于转子静止时释放其上的积聚电荷，以保证悬浮转子为零电位，提高电容位移检动压气体轴承无刷直流永磁电机应用于高精度液浮陀螺仪中,永磁电机的优越性在陀螺仪的性能方面得到了充分体现,但是动压气体轴承直流永磁电机在应用过程中也表现出了可靠性方面的一些问题,如:轴承容易被污染、启动可靠性差等等。电机的可靠性不仅影响陀螺仪的可靠性,而且还影响系统的可靠性,因此电机的可靠性问题必须解决。从理论上分析:影响电机可靠性的原因不仅包括电机及轴承的结构特点,而且还包括控制电路的因素。根据理论分析结果对电机的整体结构和控制电路进行了改进设计,实践证明:改进后轴承内的污染物明显减少、电机的启动可靠性明显提高。可靠性分析-数控滚圆机电动滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机本文由公司网站张家港大棚滚圆机采集转载中国知网整理!!http://www.dapenggunyuanji.com/