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工艺失效风险评估-张家港液压滚圆机折弯机价格低全自动滚圆机折
添加时间:2017-03-06
成品率是半导体生产线上的关键性能指标,对其进行预测分析能够有效控制芯片的生产成本、提高芯片质量,而芯片缺陷问题是制约成品率水平的关键因素。因此,研究一种密度聚类与模糊支持向量机相融合的半导体生产线成品率预测方法。首先,采用密度聚类方法对晶圆缺陷聚集特性进行分析,获取缺陷分布模式参数和密度参数,作为成品率预测模型的输入参数;然后,针对缺陷与成品率之间存在的模糊关系,利用模糊规则并结合支持向量机方法构建半导体生产线成品率预测模型;最后利用成品率预测结果对晶圆缺陷聚集特性进行定性分析,确定缺陷问题的来源,并提出相应的改善措施。通过仿真实验表明,所提方法的预测精度工艺失效风险评估-张家港液压滚圆机折弯机价格低全自动滚圆机折弯机多少钱优于常用的泊松模型和二项式模型,具有更好的可行性。 针对传统工艺失效模式及影响分析进行风险评估时存在的工作量大 本文由 张家港市泰宇机械有限公司张家港全自动切管机 网站采集网络资源整理! http://www.qieguanjixie.com、容易出现偏差等问题,提出基于证据理论的工艺失效风险群体评估方法。首先,确定风险因子分析所涉及的评估维度、相应的折算系数、各评估维度下的完备等级子块集;其次,收集各评估维度下的专家意见,将其转换为公共模糊识别框架内的专家意见,依据最大熵原理和最大模糊期望效用,确定风险因子的最终专家意见,再用矩阵相似度计算专家权重,集结各专家对风险因子的最终意见,得到风险因子的群体评估意见。用模糊证据推理算法集结各风险因子的群体评估意见,得到工艺失效模式的综合风险群体评估意见,并进行风险排序。通过某型飞机活动舱盖装配工艺失效风险评估的应用研究结果,证明了该方法的可行性与有效性。 工艺失效风险评估-张家港液压滚圆机折弯机价格低全自动滚圆机折弯机多少钱 本文由 张家港市泰宇机械有限公司张家港全自动切管机 网站采集网络资源整理! http://www.qieguanjixie.com